伴随着科学技术的不断进步和仪器仪表的运用，薄膜厚度测量方式有很多，依照测量的方法分可以分成两大类：立即测量和间接性测量。立即测量指运用测量仪器设备，根据触碰（或光触碰）立即磁感应出薄膜的厚度。普遍的立即法测量有：螺旋式测微法、高精密轮廊扫描仪法（阶梯法）、扫描仪电子显微法（SEM）；
间接性测量指依据一定相匹配的物理学关联，将相应重庆真空镀膜厂家的标量通过测算转换为薄膜的厚度，进而做到测重庆真空镀膜厂家量薄膜厚度的目地。
普遍的间接性法测量有：称量法、电容器法、电阻器法、等厚干涉法、变角干涉法、椭圆偏振法。依照测量的基本原理可分成三类：称量法、电力学法、电子光学法。
普遍的重庆真空镀膜厂家称量法有：天平秤法、石英石法、原子数测定方法；
普遍的电力学法有：电阻器法、电容器法、涡旋法；
普遍的电重庆真空镀膜厂家子光学方式有：等厚干涉法、变角干涉法、吸光法、椭圆偏振法。
下边简易详细介绍三种：
1. 干涉光学显微镜法重庆真空镀膜厂家
干涉花纹间隔Delta;0，花纹挪动Delt重庆真空镀膜厂家a;，阶梯高为t=(Delta;/Delta;0 )*0.5lambda;，测到Delta;0 和Delta;，就可以，在其中lambda;为可见光光波长，如用白光灯，lambda;取 530nm。

2. 称重法
假如薄膜总重庆真空镀膜厂家面积A，相对密度rho;和品质m可以被精准测量得话，膜厚t就可以推算出来：
d=m/Arho;。
3 石重庆真空镀膜厂家英石晶振电路法 广泛运用于薄膜淀积全过程中厚度的即时测量，关键运用于淀积速率，厚度的检测，还能够相反（与通信技术融合）操纵化学物质挥发或溅射的速度，进而完成针对淀积全过程的自动控制系统。

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